供应制冷剂R14(四氟化碳) 厂家低价直销
更新时间:2015-02-22 16:41:04
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详细介绍
产 品 说 明 | ||||
四氟化碳 r14 | ||||
用途: 四氟化碳是目前微电子工业中用量Zui大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 |
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物理性质 | ||||
分子式 | cf4 | |||
分子量 | 88 | |||
沸点 | -128.1℃ | |||
临界温度 | -45.67℃ | |||
临界压力 | 3.74mpa | |||
破坏臭氧潜能值 /odp | 0 | |||
全球变暖系数值 /gwp | 1700 | |||
质量指标 | ||||
外观 | 无色,不浑浊 | |||
气味 | 无异臭 | |||
纯度 | ≧99.90% | |||
水份 | ≤5ppm | |||
氮气,%(v/v) | ≤0.03 | |||
氧气,%(v/v) | ≤0.01 | |||
二氧化碳 | ≤10ppm | |||
氟化碳 | ≤20ppm | |||
酸度 | ≤0.1ppm | |||
包装规格 | ||||
可重复充装钢瓶10l、40l |
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